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特許

1. 電気レオロジーゲルの製造方法;出願日:平成16年3月9日,出願番号:特願2004-65019,公開番号:特開2005-255701 ,特許第4504048号(平成22年4月30日登録)

2. テーブル装置及びその制御方法;出願日:平成17年1月17日,出願番号:特願2005-9472,公開番号:特開2006-195919

3. 研磨材,研磨工具,研磨装置,研磨材の製造方法,研磨工具製造方法及び研磨方法;出願日:平成17年4月5日,出願番号:特願2005-108581,公開番号:特開2006-281424,特許第4763327号(平成23年6月17日登録)

4. 研磨装置;出願日:平成17年5月27日,出願番号:特願2005-155995,公開番号:特開2006-326782

5. 研磨工具素材製造装置、研磨工具製造装置および研磨工具製造方法;出願日:平成17年6月1日,出願番号:特願2005-161320,公開番号:特開2006-334708,特許第4351651号(平成21年7月31日登録) 

6. 加工装置および加工方法;出願日:平成18年9月15日,出願番号:特願2006-250887,公開番号:特開2008-068378

7. 流体軸受,流体ベアリング及びステージ装置並びに露光装置;出願日:平成18年3月14日,出願番号:特願2006-69194,公開番号:特開2007-247704

8. 電気レオロジーゲルおよびその製造方法;出願日:平成19年4月18日,出願番号:特願2007-109200,公開番号:特開2008-266407

9. 研磨装置:出願日:平成20年10月12日,出願番号:特願2008-269584,公開番号:特開2009-12180,特許第4648970号(平成22年12月17日登録)

10. 流体軸受,ステージ装置,露光装置及びデバイス製造方法;出願日:平成20年2月29日,出願番号:特願2008-50781,公開番号:特開2009-209962

11. マイクロ加工方法,及びそのための装置:出願日:平成20年5月7日,出願番号:特願2008-121709,公開番号:特開2009-233843

12. 流れ算出方法,流れ算出装置およびプログラム:出願日:平成21年3月6日,出願番号:特願2009-53993,公開番号:特開2010-210281

13. 加工力監視システム及びそれを用いた工作機械:出願日:平成21年5月21日,出願番号:特願2009-122644,公開番号:特開2010-271880

14. 保持装置,搬送装置及び回転伝達装置,国際出願日:平成22年3月30日,国際出願番号:PCT/JP2010/002330,国際公開番号:WO2010/113485,特許第5268013号(平成25年5月17日登録)

15. 保持装置,搬送装置及び回転伝達装置,国際出願日:平成22年3月31日,国際出願番号:PCT/JP2010/002332,国際公開番号:WO2010/113486

16. 受動アクチュエータ制御システム:出願日:平成22年2月5日,出願番号:特願2010-024017,公開番号:特開2011-164741

17. 粉体移動装置、プロセスカートリッジおよび画像形成装置:出願日:平成22年9月24日,出願番号:特願2010-213187,特許公開2012-42907

18. エンドエフェクタ及び基板搬送装置:出願日:平成23年3月14日,特願2011-56167,特許公開2012-191104

19. 加工びびり振動検出装置,および工作機械:出願日:2011年3月30日,特願2011-75298,特許公開2012-206230

20. 電気粘着シート及びその製造方法:出願日:平成23年8月31日,出願番号:特願2011-189829,特開2013-49820

21. 移動ステージシステム及び加工トルクの計測方法:出願日:平成23年9月13日,出願番号:特願2011-199854, 特開2013-61243

22. 電気粘着素子およびその製造方法:出願日:平成24年5月,特願2012-123607, 特開2013-249348

23. 工具異常検出装置と工具異常検出方法:出願日:平成24年11月1日,出願番号:特願2012-241825, 特開2014-91187

24. 工作機械制御装置,工作機械制御方法,及びプログラム,出願日:平成25年12月27日,出願番号:特願2013-271905

25. 工作機械制御装置,工作機械制御方法,及びプログラム,出願日:平成25年11月25日,出願番号:特願2013-242852

26. 工作機械制御装置,工作機械制御方法,及びプログラム,出願日:平成26年9月5日, 出願番号:特願 2014-181188

27. 振動検出装置と工作機械,特開2015-229216,出願番号:特願2014-116422

28. 数値制御装置と制御法,出願日:平成27年3月31日,出願番号:2014-03247

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